工程名稱：奈米無塵室設計

無塵室等級：22℃± 0.1 45RH± 5

無塵室面積： - 米平方

服務項目：

  

15館

• 預冷空調箱節能工程

17館

• 018室無塵室建置工程
• 無塵室工程( CLASS 100 )
• 168室出口改善
• 12吋3DIC四項設備廠務系統擴充
• PCW系統增設UPS不斷電系統工程
• MIRCO LED 無塵室新建工程
• 024室、026室無塵室環境維護

23館

• 實驗室整修工程
• 12吋氟化氪深紫外光光阻塗佈機-Facilitye工程
• 12吋線上掃描電子束顯微鏡工程
• 實驗室改建前置工程
• 軟電實驗室潔淨室工程
• 局部區域潔淨度提升工程
• 軟電量產開發實驗室設備維護工程
• Green Campus 15-17-23供管第一期改善工程
• 軟電量產開發實驗室-量測區修改工程
• 黃光區條紋塗佈區二次配工程
• AKT空調及PCW系統新建工程
• 無塵室工程( CLASS 10K )

52館

• 空調箱節能冷能回收使用PCW系統工程

67館

• A區潔淨室空調恆溫.外氣空調箱除濕改善
• 實驗室溫度溼度監測
• 122無塵室二次側工程
• 共同實驗室E區空調VAV系統增修
• 工研院員工活動中心(水電)整建及增建工程
• 181潔淨室廠務供應設施調整
• 晶元超級高速銅電鍍製程及無電鍍製程開發計畫_無塵室
• 共同實驗室163~165室新增廠務系統
• 設備建置工程(新進機台Facility建置)
• 共同實驗室新增廠務系統
• 空調容量計劃增設電源及管路預置
• 奈米無塵室工程( CLASS 1 )環控工程( 22℃±0.1  45RH± 5 )

77館

• 空調改善工程、電力改善工程
• 實驗室空間、廠務及水電設施配置及改裝
• 軟電量產開發實驗室
• 空調系統與PCW整合工程