工研院

工程名稱:奈米無塵室設計

無塵室等級:22℃± 0.1 45RH± 5

無塵室面積: - 米平方

服務項目:

93年度

23館AKT空調及PCW系統新建工程

67館A區潔淨室空調恆溫.外氣空調箱除濕改善

 

94年度

15館預冷空調箱節能工程

17館PCW系統增設UPS不斷電系統工程

67館實驗室溫度溼度監測

67館122無塵室二次側工程

 

95年度

23館軟電實驗室潔淨室工程

 

97年度

23館局部區域潔淨度提升工程

軟電量產開發實驗室設備維護工程

 

98年度

17館168室出口改善

12吋3DIC四項設備廠務系統擴充

67館共同實驗室E區空調VAV系統增修

工研院員工活動中心(水電)整建及增建工程

67館共同實驗室新增廠務系統

 

99年度

空調容量計劃增設電源及管路預置

23館實驗室改建前置工程

 

100年度

77館空調改善工程、電力改善工程

 

101年度

實驗室空間、廠務及水電設施配置及改裝

軟電量產開發實驗室

 

103年度

23館實驗室整修工程

12吋氟化氪深紫外光光阻塗佈機-Facilitye工程

 

104年度

12吋線上掃描電子束顯微鏡工程

67館181潔淨室廠務供應設施調整

 

105年度

晶元超級高速銅電鍍製程及無電鍍製程開發計畫_無塵室

設備建置工程(新進機台Facility建置)

 

106年度

17館018室無塵室建置工程